Correction: Study on the controllability of the fabrication of single-crystal silicon nanopores/nanoslits with a fast-stop ionic current-monitored TSWE method

Autor: Hao Hong, Jiangtao Wei, Xin Lei, Haiyun Chen, Pasqualina M. Sarro, Guoqi Zhang, Zewen Liu
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Microsystems & Nanoengineering, Vol 9, Iss 1, Pp 1-1 (2023)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2055-7434
DOI: 10.1038/s41378-023-00564-6
Databáze: Directory of Open Access Journals