Correction: Study on the controllability of the fabrication of single-crystal silicon nanopores/nanoslits with a fast-stop ionic current-monitored TSWE method
Autor: | Hao Hong, Jiangtao Wei, Xin Lei, Haiyun Chen, Pasqualina M. Sarro, Guoqi Zhang, Zewen Liu |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microsystems & Nanoengineering, Vol 9, Iss 1, Pp 1-1 (2023) |
Druh dokumentu: | article |
ISSN: | 2055-7434 |
DOI: | 10.1038/s41378-023-00564-6 |
Databáze: | Directory of Open Access Journals |
Externí odkaz: |