Express in-situ measurement of single crystal diamond growth/etching rate in microwave plasma: how to perform multiparametric kinetics study in one working day
Autor: | Ralchenko V.G., Yurov V.Yu., Bushuev E.V., Bolshakov A.P., Ashkinazi E.E., Antonova I.A., Zavedeev E.V., Khomich A.A., Konov V.I. |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2017 |
Předmět: | |
Zdroj: | EPJ Web of Conferences, Vol 149, p 02001 (2017) |
Druh dokumentu: | article |
ISSN: | 2100-014X |
DOI: | 10.1051/epjconf/201714902001 |
Databáze: | Directory of Open Access Journals |
Externí odkaz: |
načítá se...