Express in-situ measurement of single crystal diamond growth/etching rate in microwave plasma: how to perform multiparametric kinetics study in one working day

Autor: Ralchenko V.G., Yurov V.Yu., Bushuev E.V., Bolshakov A.P., Ashkinazi E.E., Antonova I.A., Zavedeev E.V., Khomich A.A., Konov V.I.
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2017
Předmět:
Zdroj: EPJ Web of Conferences, Vol 149, p 02001 (2017)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2100-014X
DOI: 10.1051/epjconf/201714902001
Databáze: Directory of Open Access Journals
načítá se...