Исследования остаточных упругих напряжений в многопериодных сверхрешетках GaN/AlN, выращенных на подложке SiC/Si

Autor: Павел Владимирович Середин, Шукрилло Шамсидинович Шарофидинов, Дмитрий Леонидович Голощапов, Никита Сергеевич Буйлов, Константин Александрович Еремеев, Шаира Абдувалиевна Юсупова, Сергей Арсеньевич Кукушкин
Jazyk: English<br />Russian
Rok vydání: 2024
Předmět:
Zdroj: Конденсированные среды и межфазные границы, Vol 26, Iss 3 (2024)
Druh dokumentu: article
ISSN: 1606-867X
DOI: 10.17308/kcmf.2024.26/12227
Popis: Впервые методом хлорид-гидридной эпитаксии на гибридной подложке SiC/Si, синтезированной методом согласованного замещения атомов, сформирована многослойная гетероструктура, состоящая из периодически расположенных слоев GaN и AlN. Комплексное исследование гетероструктуры с использованием наномасштабного Рамановского картирования упругих напряжений показало, что в верхнем GaN слое величина двухосного напряжения sxx имеет минимальное значение ~ –0.12 ГПа. При этом в сверхрешетках, расположенных в верхней части гетероструктуры, напряжения практически отсутствуют
Databáze: Directory of Open Access Journals