Study of interface reactions between Ti/Al/Ni/Au metallization and AlGaN/GaN heterostructures

Autor: Macherzyński Wojciech, Paszkiewicz Bogdan
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2013
Předmět:
Zdroj: Open Physics, Vol 11, Iss 2, Pp 258-263 (2013)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2391-5471
DOI: 10.2478/s11534-012-0158-0
Databáze: Directory of Open Access Journals