Strain analysis comparison in complementary and nanosheet field-effect transistor devices: Nanobeam vs Bessel electron diffraction
| Autor: | Favia Paola, Veloso Anabela, Eneman Geert, Mehta Ankit Nalin, Zhou Xiuju, Richard Olivier, Geypen Jef, Grieten Eva |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />French |
| Rok vydání: | 2024 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | BIO Web of Conferences, Vol 129, p 24025 (2024) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2117-4458 |
| DOI: | 10.1051/bioconf/202412924025 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|