Mapping Oxidation and Wafer Cleaning to Device Characteristics Using Physics-Assisted Machine Learning
| Autor: | Sparsh Pratik, Po-Ning Liu, Jun Ota, Yen-Liang Tu, Guan-Wen Lai, Ya-Wen Ho, Zheng-Kai Yang, Tejender Singh Rawat, Albert S. Lin |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACS Omega, Vol 7, Iss 1, Pp 933-946 (2022) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2470-1343 |
| DOI: | 10.1021/acsomega.1c05552 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|