Исследование оксида галлия методом составного пьезоэлектрического осциллятора на частоте 100 кГц

Autor: Владимир Владимирович Каминский, Дмитрий Александрович Калганов, Дмитрий Юрьевич Панов, Владислав Алексеевич Спиридонов, Андрей Юрьевич Иванов, Маргарита Владимировна Розаева, Дмитрий Андреевич Бауман, Алексей Евгеньевич Романов
Jazyk: English<br />Russian
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Конденсированные среды и межфазные границы, Vol 25, Iss 4 (2023)
Druh dokumentu: article
ISSN: 1606-867X
DOI: 10.17308/kcmf.2023.25/11484
Popis: В статье приводятся результаты исследования механических свойств и дефектной структуры оксида галлия (Ga2O3) при помощи метода составного пьезоэлектрического осциллятора. Объёмные образцы бета фазы Ga2O3 в виде монокристаллов и их сростков были получены при помощи роста из расплава с формообразователем (метод Степанова). Исследовались зависимости модуля продольной упругости и затухания упругих колебаний на частоте 100 кГц от амплитуды деформации. Изменения упругих и микропластических свойств образцов при различной температуре были сопоставлены с возможными релаксационными явлениями в структуре материала. Изучение дефектной структуры в образцах чистого и легированного Ga2O3 необходимо для совершенствования технологии получения монокристаллов большого размера. Фундаментальными вопросами в данной области являются влияние дефектов на анизотропию электропроводности, зонную структуру и другие функциональные свойства получаемого полупроводникового материала. Цель данной статьи в установлении особенностей подготовки образцов, проведении исследований и интерпретации результатов, полученных методом составного пьезоэлектрического осциллятора для образцов оксида галлия. В исследуемых образцах возбуждалась первая продольная мода колебаний, что соответствовало длине около 27 мм и малому поперечному сечению образца. Отдельно определялись температурные зависимости в области низких и высоких амплитуд деформаций. Для оценки кристаллического совершенства образцов, подготовленных для исследований, использовалась рентгеновская дифракция с анализом кривой качания
Databáze: Directory of Open Access Journals