Electron channeling pattern imaging – a novel approach for the determination of wafer offcut angles
| Autor: | Han Han, Strakos Libor, Porret Clément, Depauw Valérie, Vystavel Tomas, Richard Olivier, Grieten Eva, Hantschel Thomas |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />French |
| Rok vydání: | 2024 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | BIO Web of Conferences, Vol 129, p 07022 (2024) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2117-4458 |
| DOI: | 10.1051/bioconf/202412907022 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|