Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC

Autor:	D M Devia, Fernando Mesa, Pedro José Arango
Jazyk:	English<br />Spanish; Castilian
Rok vydání:	2011
Předmět:	Arco pulsado Microestructura TiN/TiC XPS XRD Technology Science Science (General) Q1-390
Zdroj:	Ingeniería y Ciencia, Vol 7, Iss 14 (2011)
Druh dokumentu:	article
ISSN:	1794-9165 2256-4314
Popis:	Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la técnica de deposición en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120±C, con intervalos de 5±C. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento de las señales de los espectros angostos de XPS y los patrones de XRD, se determino la formación de los compuestos TiN (Nitruro de Titanio), TiC (Carburo de Titanio) y TiCN (carbonitruro de titanio) en la fase cristalográfica fm-3m correspondiente a las fases FCC de estos compuestos sintetizados. PACS: 68.35.Ct, 68.55.A-, 68.65.Ac
Databáze:	Directory of Open Access Journals
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