| Autor: |
Tamer Şimşek, Kadir Gökşen |
| Jazyk: |
English<br />Turkish |
| Rok vydání: |
2017 |
| Předmět: |
|
| Zdroj: |
Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi, Vol 5, Iss 1, Pp 84-95 (2017) |
| Druh dokumentu: |
article |
| ISSN: |
2148-2446 |
| Popis: |
Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4 gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır. |
| Databáze: |
Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|
