Вимірювальний перетворювач кутових переміщень з використанням фазових набігань електричного поля поверхневих акустичних хвиль
Autor: | Mykola Fedorovych Zhovnir |
---|---|
Jazyk: | English<br />Ukrainian |
Rok vydání: | 2017 |
Předmět: | |
Zdroj: | Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 22, Iss 5 (2017) |
Druh dokumentu: | article |
ISSN: | 2523-4455 2523-4447 |
DOI: | 10.20535/2523-4455.2017.22.5.99887 |
Popis: | Запропонований і теоретично обгрунтований метод однозначного вимірювання кутових переміщень з використанням фазових набігань на поверхні п’єзоелектричного хвилеводу електричного поля кількох поверхневих акустичних хвиль (ПАХ), що приймаються рухомим ПАХ-приймачем. Приведена оцінка потенційних метрологічних параметрів 3-х частотного перетворювача кутових переміщень в діапазоні 0…360 кут. град. з формуванням точної, проміжної та грубої вимірювальних шкал. Результати випробувань макету на базі п’єзоелектричного хвилеводу з структурою оксид цинку-плавлений кварц підтверджують можливість створення високочутливого вимірювального перетворювача кутових переміщень з роздільною здатністю та точністю, які близькі до параметрів індуктосинів, фотоелектричних перетворювачів та лазерних інтерферометрів, але можуть мати значно менші масогабаритні показники, вартість та складність конструкції. Бібл. 20, рис. 6. |
Databáze: | Directory of Open Access Journals |
Externí odkaz: |