Structure and Vibrational Spectra of thin Films β-Ga2O3
| Autor: | Bordun, O. M., Bordun, B. O., Medvid, I. I., Kukharskyy, I. Yo., Ptashnyk, V. V., Partyka, M. V. |
|---|---|
| Jazyk: | ukrajinština |
| Rok vydání: | 2017 |
| Zdroj: | Physics and Chemistry of Solid State; Vol 17, No 4 (2016); 515-519 Фізика і хімія твердого тіла; Vol 17, No 4 (2016); 515-519 |
| Popis: | The structure, phase composition and surface morphology of thin films β-Ga2O3, obtained by high-frequency ion-plasma sputtering, after annealing at different atmosphere was investigated. The spectra of IR reflection of system thin film b-Ga2O3 - fused quartz substrate υ-SiO2 in region 400–1600 cm-1 at 295 K were measured. The peaks in the spectrum of films b-Ga2O3, associated with vibration of Ga – O fragments in structural tetrahedral GaO4 and octahedral GaO6 complexes was interpreted.Key words: gallium oxide, thin films, vibrational spectra. Досліджено структуру, фазовий склад і морфологію поверхні тонких плівок b–Ga2O3, отриманих методом високочастотного іонно-плазмового розпилення, після відпалу у різних атмосферах. Виміряно спектри ІЧ-відбивання системи тонка плівка b–Ga2O3 – підкладка з плавленого кварцу υ–SiO2 в області 400 - 1600 см–1 при Т = 295 К. Проведено інтерпретацію піків у спектрі плівок b–Ga2O3, що пов’язані з коливаннями Ga–O фрагментів у структурних тетраедричних GaO4 та октаедричних GaO6 комплексах.Ключові слова: оксид галію, тонкі плівки, коливні спектри |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|