Aging Processes in Films of Iron-Yttrium Garnet Implanted by Boron Ions
| Autor: | Yaremiy, I. P., Povkh, M. M., Kotsyubynsky, V. O., Fedoriv, V. D., Yaremiy, S. I., Pashkovska, R. I. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Physics and Chemistry of Solid State; Vol 20, No 1 (2019); 56-62 Фізика і хімія твердого тіла; Vol 20, No 1 (2019); 56-62 |
| Popis: | Based on the results of X-ray structural analysis, changes in the crystalline structure that occurred during 15 years in surface layers of epitaxial films of iron-yttrium garnet implanted by B+ ions were studied. The processes that occur during the B+ ion implantation of in ferrite-garnet films, and the processes that accompany the low-temperature aging of ion-implanted films are considered. Strain profiles were determined from the experimental rocking curves, obtained immediately after ion implantation and after 15 years. It was found that the value of relative maximum deformation of surface layers decreases at constant thickness of the disturbed layer. На основі результатів X-променевого структурного аналізу вивчено зміни кристалічної структури, які відбувалися на протязі 15 років в приповерхневих шарах епітаксійних плівок залізо-ітрієвого гранату, імплантованих іонами B+. Розглянуто процеси, що відбуваються під час іонної імплантації B+ у ферит-гранатові плівки, та процеси, які супроводжують низькотемпературне старіння іонно імплантованих плівок. З експериментальних кривих дифракційного відбивання, отриманих відразу після іонної імплантації та через 15 років, визначено профілі деформації. Виявлено, що значення відносної максимальної деформації приповерхневих шарів зменшується при незмінній товщині порушеного шару. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|