A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes

Autor:	Walk, Christian, Görtz, Michael, Mokwa, Wilfried, Vogt, Holger
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2017
Předmět:	Materialtechnik Elektrotechnik
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=unidue___bib::4bccba276ae77832b50c217dadb4bbb2 https://www.scopus.com/inward/record.url?partnerID=HzOxMe3b&origin=inward&scp=85071943203 Zobrazit plný text záznamu