Bor Nitrür Kaplamaların Çelik Alt Malzemeler Üzerinde RF Magnetron Saçtırma Yöntemiyle Büyütülmesi

Autor:	CESUR, Halil, KAFTANOĞLU, Bilgin, KALKANLI, Ali, ORAL, Baybars
Jazyk:	turečtina
Rok vydání:	2009
Předmět:	Bor Nitrür Magnetron Saçtırma Yüksek Hız Çeliği
Zdroj:	Volume: 11, Issue: 1 15-21 Makina Tasarım ve İmalat Dergisi
ISSN:	1302-9487 2667-4297
Popis:	Bor nitrür kaplamalar Silikon veçelik alt malzemeler üzerinde radyo frekanslı (rf) magnetron saçtırmayöntemiyle hekzagonal bor nitrür hedef plaka kullanılarak büyütülmüştür.Büyütme işlemi gaz oranı 5 e 1 olacak şekilde Argon ve Azot gaz karışımında ve3x10-3 Torr basınç altında gerçekleştirilmiştir. Büyütme işleminde anaparametreler olan alt malzeme (bias) voltajı ve ortam sıcaklığının etkileriaraştırılmıştır. Çalışmanın amacı bor nitrür kaplamaların alt malzemeyüzeylerinde oluşturularak metal kesme işleminde kullanılabilmesi için gereklisertlik ve yapışkanlığı elde etmektir. Deneyler sonucu elde edilen kaplamalarınnitelendirilmesi için Fourier transform kızılötesi spektroskopisi (FTIR), X-Rayfotoelektron spektroskopisi (XPS) ve Taramalı Elektron Mikroskobu (SERI)teknikleri kullanılmıştır. Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekaniközellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriylebelirlenmiştir.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=tubitakulakb::0e10a10994268cb3975bcf2a087e59f2 https://dergipark.org.tr/tr/pub/matim/issue/37034/424947 Zobrazit plný text záznamu