Розрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроїв
| Jazyk: | ukrajinština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
mechanical stress
photoelasticity sound conductor SAW-devices modulation polarimetry lithium niobate delay circuit механічні напруження фотопружність звукопровід ПАХ-пристрої модуляційна поляриметрія ніобат літію лінія затримки УДК 621.3.082.55 535.568 531.713.8 механические напряжения фотоупругость звукопровод ПАВ-устройства модуляционная поляриметрия ниобат лития линия задержки |
| Zdroj: | Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Механіко-технологічні системи та комплекси; Том 7 (2016); 66-71 Вестник Национального технического университета «ХПИ». Серия: Механико-технологические системы и комплексы; Том 7 (2016); 66-71 |
| ISSN: | 2411-2798 2411-2828 |
| Popis: | The article presents the study results of internal mechanical stresses in piezoelectric LiNbO3crystals of YZ-cut, as well as near-surface stress, appeared in sound conductor after deposition of interdigital transducers (IDT) on the surface acoustic wave (SAW) devices during manufacturing. Birefringence distribution was measured by modulation polarimetry method. Mechanical stresses in the sound conductor were calculated on the basis of relative optical anisotropy. Research results of photoelastic properties show a high sensitivity of modulation-polarization measurement method for quality control of piezocrystals and to identify near-surface residual stress after IDT deposition. В статье приведены результаты исследования внутренних механических напряжений в пьезокристаллах LiNbO3 YZ-среза, а также приповерхностных механических напряжений, возникающих в звукопроводе после напыления встречноштыревых преобразователей (ВШП) при изготовлении устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Измерено распределение величины двулучепреломления с использованием метода модуляционной поляриметрии и рассчитана на его основе относительная анизотропия механических напряжений в звукопроводе. Результаты исследований фотоупругих свойств звукопровода демонстрируют высокую чувствительность модуляционно-поляризационного метода измерения для контроля качества пьезокристаллов и выявления остаточных приповерхностных механических напряжений после напыления ВШП. В статі приведені результати дослідження внутрішніх механічних напружень в п’єзокристалі LiNbO3 YZ-зрізу, а також приповерхневих механічних напружень, які виникають у звукопроводах після напилення зустрічноштирьових перетворювачів (ЗШП) при виготовленні пристроїв на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Виміряний розподіл величини двопроменезаломлення з використанням методу модуляційної поляриметрії та розрахована на його основі відносна анізотропія механічних напружень у звукопроводі. Результати досліджень фотопружних властивостей звукопроводів демонструють високу чутливість модуляційно-поляризаційного методу вимірювання для контролю якості п’єзокристалів та виявлення залишкових приповерхневих механічних напружень після напилення ЗШП. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|