TO A QUESTION ON THE DETERMINATION OF CHARGE CARRIERS CAPTURE CROSS SECTION BY DLTS METHOD

Autor: Tretyak, O. V., Opylat, V. J., Boiko, Y. V., Gryaznov, D. B., Derkach, I. A., Povarchuk, V. Yu.
Jazyk: ukrajinština
Rok vydání: 2017
Předmět:
Zdroj: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 7, № 1 (2010); 43-51
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 7, № 1 (2010); 43-51
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 7, № 1 (2010); 43-51
ISSN: 1815-7459
2415-3508
Popis: На підставі аналізу способів визначення термічного поперечного перерізу захоплення дефектом носіїв заряду зі спектрів DLTS розкриті можливі причини суттєвих похибок при визначенні даного параметра. Окреслено межі застосовності кожного зі способів за рядом критеріїв — характеристики досліджуваної напівпровідникової структури, термічна залежність поперечного перерізу захоплення, тощо. Сформульовано вимоги до апаратної частини та запропоновано схему DLTS спектрометра, здатного реалізувати один з прямих способів визначення поперечного перерізу захоплення носіїв.
На основании анализа способов определения термического поперечного сечения захвата дефектом носителей заряда со спектров DLTS раскрыты возможные причины существенных погрешностей при определении данного параметра. Очерчены границы применимости каждого из способов по ряду критериев характеристики исследуемой полупроводниковой структуры, термическая зависимость поперечного сечения захвата, и т.п. Сформулированы требования к аппаратной части и предложена схема DLTS спектрометра, способного реализовать один из прямых способов определения поперечного сечения захвата носителей.
On the basis of the analysis of determination ways of thermal charge carriers capture cross section by defect from DLTS spectra the possible causes of essential measurement errors of the given parameter are revealed. The applicability borders of each way on a number of criteria — the characteristics of the investigated semiconductor structures, thermal dependence of the capture cross section, etc. are outlined. Requirements to the hardware are formulated and the schematic of the DLTS spectrometer, capable to realise one of direct ways of carriers capture cross section determination is proposed.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: