NUMERICAL CALCULATION OF TEMPERATURE DISTRIBUTION IN CRUCIBLE OF INDUCTION EVAPORATOR WITH MAGNETIC FIELD CONCENTRATOR

Autor: Tsibulskiy, Leonid
Jazyk: ukrajinština
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія Приладобудування; № 50(2) (2015); 92-100
Вестник Национального технического университета Украины "Киевский политехнический институт". Серия приборостроение; № 50(2) (2015); 92-100
Bulletin of National Technical University of Ukraine "Kyiv Polytechnic Institute". Series Instrument Making; № 50(2) (2015); 92-100
ISSN: 0321-2211
Popis: Стаття описує методологію й результати ієрархічного моделювання індукційного випарника з концентратором електромагнітного поля, які враховують пов'язані гетерогенні процеси і дозволяють чисельно розрахувати електромагнітне поле в околиці випарника, а також розподіл струмів і температури в завантаженому тиглі. Робота з розробки моделі дозволяє зробити висновок, що метод кінцевих елементів є найбільш підходящим для розрахунку електромагнітних і температурних полів. Дана модель може бути використана для моделювання ежекції потоку пари в сторону підкладок і електричних розрядів у випарнику.
Статья описывает методологию и результаты иерархического моделирования индукционного испарителя с концентратором электромагнитного поля, которые учитывает связанные гетерогенные процессы и позволяет численно рассчитать электромагнитное поле в окрестности испарителя, а также распределения токов и температуры в загруженном тигле. Работа по разработке модели позволяет сделать вывод, что метод конечных элементов является наиболее подходящим для расчёта электромагнитных и температурных полей. Данная модель может быть использована для моделирования эжекции потока пара в сторону подложек и электрических разрядов в испарителе.
The article describes the methodology and results of hierarchical modelling of the induction evaporator with electromagnetic field concentration, which takes into account the related heterogeneous processes and allows to numerically calculate the electromagnetic field in the vicinity of the evaporator as well as current and temperature distributions in the loaded crucible. The model development work allows to make the conclusion that the method of finite elements is most suitable for calculation of electromagnetic and temperature fields. The given model may be employed for modeling vapor flow ejection from the crucible to substrates and electrical discharges in the evaporator.
Databáze: OpenAIRE