Micromechanical non - intrusive thermal resistive sensor of fluid velocity into a rectangular cross-section flow channel
| Autor: | Lupyna, Borys Ivanovych |
|---|---|
| Jazyk: | ukrajinština |
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: |
терморезисторний первинний перетворювач
мікроелектромеханічна система теплоізольована структура лінійна швидкість середовища калориметричний метод вимірювання швидкості MEMS thermal fluid velocity sensor heat-loss anemometer non-intrusive calorimetric sensor терморезисторный первичный преобразователь микроэлектромеханическая система теплоизолированная структура линейная скорость среды калориметрический метод измерения скорости |
| Zdroj: | Electronics and Communications; Том 21, № 3 (2016); 17-28 Электроника и Связь; Том 21, № 3 (2016); 17-28 Електроніка та Зв'язок; Том 21, № 3 (2016); 17-28 |
| ISSN: | 1811-4512 2312-1807 |
| Popis: | В роботі проведено аналіз теплообмінних процесів в поверхневому терморезисторному перетворювачі лінійної швидкості середовища, вмонтованому в стінку потокоформуючого каналу прямокутного перерізу. Перетворювач спроектовано за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії. Аналіз термоа-немометричного та калориметричного методів вимірювального перетворення лінійної шви-дкості середовища стосовно до мембранного перетворювача показав, що перевагами за-пропонованого підходу є можливість врахуван-ня в моделі поверхневого перетворювача його конструктивних особливостей і геометричних розмірів, теплообміну із зворотного боку теплоізольованої структури та теплофізичних характеристик складових матеріалів.Бібл. 22, табл. 3, рис. 3. В работе выполнен анализ теплообменных процессов в поверхностном терморезисторном преобразователе линейной скорости среды, вмонтированном в стенку потокоформирующего канала прямоугольного сечения. Преобразователь спроектован по технологии микроэлектро-механических систем на кремнии. Анализ термоанемометрического и калориметрического методов измерительного преобразования линейной скорости среды касательно к мембранному преобразователю показал, что преимуществами предложенного подхода является возможность учета в модели поверхностного преобразователя его конструктивных особенностей и геометрических размеров, теплообмена с обратной стороны теплоизолированной структуры и теплофизических характеристик составляющих материалов.Библ. 23, табл. 3, рис. 3. An analytical model of a non-intrusive micro-electro-mechanical (MEMS) thermal sensor into a rectangular cross-section flow channel is presented and investigated. The analytical expressions for temperature distribution are obtained and numerical values are calculated for a MEMS structures included three-element thermally isolated thin film resistors at a SiO2/Si3N4 dielectric membrane. The model includes the heat exchange from the both frontal and opposite membrane sides and is applicable for gas or liquid flow velocity measurements. The sensor and channel structural design features and materials thermal properties are taken into accounts into the model. The DC heating operations are analyzed including the both constant power dissipation and constant heater temperature modes.References 23, tables 3, figures 3. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|