FEM SIMULATION OF PIEZORESISTIVE PRESSURE MODULE

Autor:	Gridchin, Victor A., Chebanov, Michail A.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2010
Předmět:	кінцево-елементне моделювання сенсор тиску сингулярна точка FEM simulation pressure sensor singular points конечно-элементное моделирование сенсор давления сингулярная точка Computer Science::Other
Zdroj:	Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 7, № 4 (2010); 48-51 Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 7, № 4 (2010); 48-51 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 7, № 4 (2010); 48-51
ISSN:	1815-7459 2415-3508
Popis:	The impact of singularity points on stress distribution in piezoresistive module is investigated by means of FEM simulation. The strong influence of singularities on stress distribution in silicon-glass interface is presented in this paper. Використовуючи техніку кінцево-елементного моделювання, досліджено вплив сингулярних точок на розподіл напруг у п’єзорезистивному модулі. Показано сильний вплив сінгулярностей на розподіл напруг на інтерфейсі кремній-скло. Используя технику конечно-элементного моделирования, исследовано влияние сингулярных точек на распределение напряжений в пьезорезистивном модуле. Показано сильное влияние сингулярностей на распределение напряжений на интерфейсе кремний-стекло.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=scientific_p::82769d9fe2fc46ca418e33e44df8c8ad http://semst.onu.edu.ua/article/view/116319 Zobrazit plný text záznamu