A carbene stabilized precursor for the spatial atomic layer deposition of copper thin films

Autor:	'Nils Boysen
Zdroj:	Bujamin Misimi
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=r3c4b2081b22::e79193987855ccc19bab223e761b63c9 Zobrazit plný text záznamu