Wavefront Sensing for Evaluation of Extreme Ultraviolet Microscopy
Autor: | M. Ruiz-Lopez, M. Mehrjoo, B. Keitel, E. Plönjes, D. Alj, G. Dovillaire, L. Li, and P. Zeitoun |
---|---|
Rok vydání: | 2020 |
Zdroj: | Sensors |
ISSN: | 1424-8220 |
DOI: | 10.3390/s20226426 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |