Impacts of HfZrO thickness and anneal temperature on performance of MoS

Autor:	Xinge, Tao, Lu, Liu, Lei, Yang, Jing-Ping, Xu
Rok vydání:	2021
Zdroj:	Nanotechnology. 32(44)
ISSN:	1361-6528
Popis:	The MoS
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::9c2a9e1008cef051c3ffc9908581e8d8 https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/34330115 Zobrazit plný text záznamu