Atomic layer deposition of AlN using trimethylaluminum and ammonia

Autor:	Beshkova, Milena, Deminskyi, Petro, Pedersen, Henrik, Yakimova, Rositsa
Rok vydání:	2020
Předmět:	ALD GIXRD SEM AlN
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______9626::752f49f1c6f3036722639b814a85ed6e Zobrazit plný text záznamu