| Popis: |
TEZ13155 Tez (Yüksek Lisans) -- Çukurova Üniversitesi, Adana, 2020. Kaynakça (s. 101-107) var. XIX, 109 s. :_res. (bzs. rnk.), tablo ;_29 cm. Bu çalışmada Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi kullanılarak azot katkılı ve katkısız karbon ince filmler metal (çelik, diş teli, diş implantı, alüminyum), silisyum ve cam alt tabanlar üzerine kaplandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Farklı alt tabanlar üzerine büyütülen kaplamaların optik, yapısal- yüzey özellikleri belirlendi. Aynı zamanda metal alt tabanlar üzerine büyütülen örneklerin sürtünme ve aşınma testleri yapıldı. In this study, nitrogen doped and as deposited carbon thin films were grown by Electron Cyclotron Resonant Microwave Plasma (ECR-MP) method on metal (steel, braces, dental implants, aluminum), silicon and glass substrates. Methane (CH4) gas was used for plasma formation. Optical, structural and surface properties of coatings grown on different substrates were determined. At the same time, friction and wear tests of the samples grown on metal substrates were performed. |
