Direct measurements of high-energy secondary electrons during plasma immersion ion implantation
| Autor: | Nakamura, K., Mändl, S., Brutscher, J., Günzel, R., Möller, W. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1997 |
| Zdroj: | 3rd Int. Conf. Reactive Plasmas, Nara, Japan, Jan. 21-24, 1997 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|