A comparative study of ERDA, EELS and XPS for structural analysis of amorphous carbon nitride films

Autor:	Späth, C., Kühn, M., Richter, F., Falke, U., Hietschold, M., Kilper, R., Kreißig, U.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1997
Zdroj:	Int. Conf. Diamond '97
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4577::4ab6d9b67d4daba62bfcd9d526de2849 https://www.hzdr.de/publications/Publ-2470-1 Zobrazit plný text záznamu