Ionenimplantation aus Vakuumbogenplasmen

Autor: Witke, W., Siemroth, P., Brückner, J., Brutscher, J., Richter, E.
Jazyk: němčina
Rok vydání: 1997
Zdroj: 8. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Dresden, Sept. 14-17, 1997
Databáze: OpenAIRE