Ionenimplantation aus Vakuumbogenplasmen
Autor: | Witke, W., Siemroth, P., Brückner, J., Brutscher, J., Richter, E. |
---|---|
Jazyk: | němčina |
Rok vydání: | 1997 |
Zdroj: | 8. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Dresden, Sept. 14-17, 1997 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |