Microfabricated alkali vapor cells using local sealing
Autor: | Maurice, Vincent, Chutani, Ravinder Kumar, Carlé, Clément, Keshavarzi, Shervin, Queste, Samuel, Gauthier-Manuel, Ludovic, Cote, Jean-Marc, Vicarini, Rémy, Boudot, Rodolphe, Passilly, Nicolas |
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Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: |
[SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph]
[SPI.OTHER]Engineering Sciences [physics]/Other [PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials |
Zdroj: | INMAQS Technical Workshop INMAQS Technical Workshop, Sep 2022, Talk, United Kingdom |
Popis: | International audience; We report on a new technique to form and seal micro-fabricated cells. The technique consists in integrating single-use sealing structures actuated through laser irradiation, either to isolate cavities from each other or to connect them. Inspired by the glass-blowing techniques, we demonstrate “make-seals” and “break-seals” cells. This technique opens new |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |