Towards greener nanoimprint processes
| Autor: | Péra, Clothilde, Doucet, Jean Baptiste, Carcenac, Franck, Emmanuelle, Dr |
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| Přispěvatelé: | Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), LAAS-CNRS, Renatech |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 48th international conference on Micro and Nano Engineering-Eurosensors (MNE-ES) 48th international conference on Micro and Nano Engineering-Eurosensors (MNE-ES), Sep 2022, Leuven, Belgium. 2022, ⟨10.1016/S0079-⟩ |
| DOI: | 10.1016/S0079-⟩ |
| Popis: | International audience; The purpose of this work is to develop nano-imprint processes using “greener” polymers. PLA, a bio-sourced, bio-degradable and bio-compatible polymer, will be directly nano-structured via a thermal nano-imprint process (T-NIL). PVA, a synthetic bio-compatible and bio-degradable polymer, will be used as water-soluble sacrificial layers for lift-off process. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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