Влияние материала подложки на кинетику и механизм электроосаждения кремния из расплава KCl-KF-K[2]SiF[6]

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2021
Předmět:	электроосаждение кремния электрохимическое осаждение металлов электрохимическое осаждение сплавов механизм электроосаждения кремния материал подложки кинетика электроосаждения кремния
Popis:	В данной работе изучено влияние материала подложки на кинетику и механизм электроосаждения кремния из расплава KF-KCl-K[2]SiF[6].
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::8e3652079bf2ad92777b8a05ae5b6a9e https://elib.belstu.by/handle/123456789/42044 Zobrazit plný text záznamu