Исследования оcобенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2023
Předmět:	гибридные подложки гетероструктуры кремниевые подложки пористый кремний гибридные гетероструктуры наноразмерные гетероструктуры
Popis:	В работе исследованы оcобенности наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::82b0cb6b9a4b56e3f652ccaa143eafcb https://elib.belstu.by/handle/123456789/56330 Zobrazit plný text záznamu