Исследование свойств пленок диоксида титана на сапфировой подложке

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2019
Předmět:	пленки диоксида титана центрифугирование свойства тонких пленок диоксид титана сапфировая подложка термоупругие напряжения
Popis:	Возможность формирования тонких пленок на диэлектрических и полупроводниковых подложках открывает широкие возможности для конструирования функциональных устройств (фотоэлектрических преобразователей и чувствительных элементов газовых датчиков). Одной из важных особенностей газовых датчиков на основе тонких пленок диоксида титана (TiO[2]) является возможность их работы при высоких температурах из-за химической стабильности пленки. Для получения пленки диоксида титана на сапфировой подложке использовался метод центрифугирования с последующим отжигом в муфельной печи.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::65841f2529c751f6b157779cd6d64ad8 https://elib.belstu.by/handle/123456789/28598 Zobrazit plný text záznamu