Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2022
Předmět:	алюмооксидные подложки энергосбережение оксид индия газочувствительные слои оксид олова полупроводниковые сенсоры
Popis:	Формирование газочувствительных слоев на алюмооксидных подложках обеспечивает воспроизводимость и стабильность характеристик, а также низкое энергопотребление сенсоров. Методики выбора режимов отжига и способа нанесения тонких пленок влияют на адгезионные свойства элементов конструкции. Получение развитых сплошных полупроводниковых слоев достигается многослойным нанесением оксидов металлов с применением капельных технологических приемов. Диапазон термообработки поверхности чувствительных элементов составляет от 100 °С до 800 °С.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::35eb70149cd692039eb05fc84babd3ac https://elib.belstu.by/handle/123456789/57667 Zobrazit plný text záznamu