Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2020
Předmět:	ионно-плазменные технологии осаждение металлов ионно-ассистируемое осаждение модифицирование поверхности графит формирование легированных поверхностных слоев
Popis:	Целью данной работы явилось исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита, и распределения в них атомов легирующих элементов.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3992::1cec9fb27a6668426cda5a1f464fd4ff https://elib.belstu.by/handle/123456789/33296 Zobrazit plný text záznamu