Replication of Refractive Micro Opto-mechanical Components Made with Deep Lithography with Protons
Autor: | Baukens, Valerie, Debaes, Christof, Einwächter, R., Hermanne, Alex, Himmelsbach, G., Kufner, M., Küpper, M., Ottevaere, H., Schenk, R., Tuteleers, Patrik, Volckaerts, Bart, Vynck, Pedro |
---|---|
Přispěvatelé: | Applied Physics and Photonics |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2000 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |