Replication of refractive micro opto-mechanical components made with Deep lithography with protons

Autor:	Tuteleers, Patrik, Vynck, Pedro, Volckaerts, Bart, Ottevaere, H., Baukens, Valerie, Debaes, Christof, Hermanne, Alex
Přispěvatelé:	Dept. of Applied Physics, Applied Physics and Photonics, Vrije Universiteit Brussel
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2001
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3848::6fd18ecc643be6c7948812065b410e11 https://hdl.handle.net/20.500.14017/6d841409-f67e-4d3f-9b4d-e069244fc00f Zobrazit plný text záznamu