| Popis: |
Исследованы параметры плазмы несамостоятельного тлеющего разряда, генерируемой внутри металлического полого катода длиной 300 мм и внутренним диаметром 25 мм. Особенностью данной системы является дополнительная инжекция электронов из плазмы вспомогательного разряда, формируемой источником плазмы с комбинированным накаленным и полым катодом «ПИНК». Представлены и описаны зависимости и режимы горения несамостоятельного тлеющего разряда при давлении в диапазоне 0.06−1.5 Па и напряжении горения 70−300 В. Исследования параметров плазмы с помощью двойных зондов Ленгмюра показали, что данная разрядная система обеспечивает генерацию азотной плазмы внутри полого катода с неоднородностью от ±12 до ±63%. |
