| Popis: |
Рассмотрен принцип действия и представлены основные характеристики установки лабораторного типа, предназначенной для электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий в едином вакуумном цикле. На примере системы Al–Ti продемонстрирована возможность многократного повышения механических (микротвердость) и трибологических (износостойкость и коэффициент трения) свойств поверхностного слоя материала в результате реализации в едином вакуумном цикле комплексной обработки, сочетающей формирование легированного титаном поверхностного слоя технически чистого алюминия марки А7 по схеме напыление – облучение (количество циклов от 1 до 20; толщина пленки металла в одном цикле 0.5 и 1 мкм) и по- следующее электронно-ионное азотирование (540 °С, 8 ч) поверхностного сплава, осуществляемое в плазме не-самостоятельного дугового разряда за счет как ионной, так и электронной компонент плазмы. |
