О накоплении примеси в адсорбционном слое в процессе легирования при молекулярно–лучевой эпитаксии
| Přispěvatelé: | Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников |
|---|---|
| Jazyk: | ruština |
| Rok vydání: | 2013 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013. № 2. С. 4-10 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|