Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers

Autor:	Besnard, Aurélien, Zairi, Amel, Nouveau, Corinne, Martin, Nicolas
Přispěvatelé:	Pyon, Sandrine
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2013
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Popis:	Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3711::69ea1b7a14a882a200bb7a58d0944f85 https://hal.science/hal-00944591 Zobrazit plný text záznamu