PROCESS FOR THE TWO-STEP SELECTIVE ANODIZING OF A SEMICONDUCTOR LAYER FOR FORMING POROUS SILICON

Autor:	Balucani, Marco, Bondarenko, V, Dolgyi, L, Ferrari, A, Lamedica, G, Yakovtseva, V.
Rok vydání:	2001
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3686::fc63893429106fac7b1e1474fb66bc0e http://hdl.handle.net/11573/222685 Zobrazit plný text záznamu