Synthesis of Silicon Carbide thin films with polycarbosilane (PCS)

Autor:	Colombo, Paolo, Paulson, T. E., Pantano, C. G.
Rok vydání:	1997
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3657::75a6ffbfef810898d02697fc0ba0a948 http://hdl.handle.net/11577/123320 Zobrazit plný text záznamu