Atmosphere effects in the processing of silicon carbide and silicon oxycarbide thin films and coatings

Autor:	Colombo, Paolo, Paulson, T. E., Pantano, C. G.
Rok vydání:	1994
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3657::5a31f7f99cc9e15897f9e8e708518308 http://hdl.handle.net/11577/2500915 Zobrazit plný text záznamu