Plasma enhancement of metalorganic chemical vapor deposition and properties of Er2O3 nanostructured thin films
Autor: | Giangregorio, M. M., Losurdo, M., Sacchetti, A., Capezzuto, P., Bruno, G., Malandrino, G., Fragala', I. L., LO NIGRO, R., Armelao, L., Barreca, D., Tondello, Eugenio |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2007 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |