Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2019
Předmět:	эмиссионная спектроскопия оптическая спектроскопия тлеющие разряды тонкие пленки режимы работы радиочастотные источники спектрометры покрытия
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::c5981a3af4e715adf10a01d95c0a9fb5 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56737 Zobrazit plný text záznamu