Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07
| Přispěvatelé: | Пичугин, Владимир Федорович |
|---|---|
| Jazyk: | ruština |
| Rok vydání: | 2020 |
| Předmět: |
оксиды титана
структурные особенности спектроскопия формирование преломление термическая обработка Пленки тонкие — Получение молекулярный состав кристаллические структуры Пленки тонкие — Структура оксинитриды титана фазовый состав осаждение плазма отжиг закономерности авторефераты диссертаций магнетронное распыление биомедицинское применение смачивание фотокаталитическая активность 01.04.07 шероховатости |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|