Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20

Přispěvatelé:	Рябчиков, Александр Ильич
Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2015
Předmět:	имплантация микрокапельная фракция физика Электрический разряд ионно-плазменная обработка вакуумные дуги фильтрация вакуумно-дуговая плазма плазма 01.04.20 импульсно-периодический потенциал смещения ионно-плазменное осаждение авторефераты диссертаций металлы покрытия мишени
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::8875b173f6fdf7c0aa28d5d4e8b7b02e http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193 Zobrazit plný text záznamu