Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8
| Přispěvatelé: | Блейхер, Галина Алексеевна |
|---|---|
| Jazyk: | ruština |
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: |
элементный состав
магнетронные распылительные системы упругость нитриды металлов кристаллические структуры плазма хром магнетроны оксиды металлов соединения авторефераты диссертаций коррозионная стойкость Твердые тела — Распыление математические модели микротвердость 01.04.07 высокоскоростное осаждение функциональные свойства Плазменная металлизация азот твердые покрытия мишени |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|